用于薄膜光伏器件的大规模MOCVD系统

摘要

本实用新型提供了在基底面板上制备薄膜的装置和利用化学气相沉积在基底面板上形成薄膜的系统，该装置包括由多个侧壁密封的沉积室、盖、及底。该装置包括混合室，其设置在盖的上方，并构造为接收蒸气物质并形成混合蒸气。混合室经由穿过盖的入口连接于沉积室，包括扩散板。两个加热板并排设置在底上，用于支撑和加热两个基底。该系统包括：产生一种或多种蒸气的前体子系统，该子系统包括，用来供给第一液体的第一输送组件；用来供给第二液体的第二输送组件；用来供给气态物质的第三输送组件；起泡器控制组件；及包括混合室和沉积室的处理子系统等。本实用新型的装置和系统实现了直接在特大玻璃基底上高品质和低成本地大规模制造薄膜光伏面板。

主权项

用于在基底面板上制备薄膜光伏器件的装置，所述装置包括：由多个侧壁封闭的沉积室、盖构件结构、以及底构件结构，所述沉积室由支撑构件结构来支撑；混合室，所述混合室被设置在所述盖构件结构上方，并构造为接收两种或更多种蒸气物质并形成混合蒸气，所述混合室经由一个或多个入口并通过所述盖构件结构连接于所述沉积室；并排设置两个加热板并在所述底构件结构上支撑，用于分别支撑和加热两个基底面板，其中每一个所述基底面板具有与每一个加热板基本相同的几何形状和表面积；提升结构，所述提升结构设置在所述沉积室下方，并构造为将两个基底面板提升到在所述沉积室内的预定位置，其中通过利用穿过所述底构件结构和所述两个加热板的每一个的多个销；以及阀组，所述阀组经由位于所述底构件结构的中心区域的所述两个加热板以下的出口而连接于所述沉积室，所述阀组借助于通过真空前级管道的泵送组件而与所述沉积室相通。