主权项 |
一种用真空镀膜机制作自清洁玻璃的方法,其特征在于,包括以下步骤:①对玻璃进行清洗、干燥,然后装在工件架上,将纯铝丝剪成一定长度装入位于真空室内的第一组钨蒸发器中,将纯钛丝剪成一定长度装入位于真空室内的第二组钨蒸发器中;②将工件架送入真空室,抽真空至≤10Pa;③对真空室充氩气使真空度下降到10~40Pa,调节轰击电流至0.1~1A,对工件进行离子轰击2~10分钟后,然后对真空室抽真空使真空度达到1×10‑2~4×10‑2Pa;④对真空室充氧,使真空度达到5×10‑2~2×10‑1Pa,然后开启第一组钨蒸发器,调节蒸发电流至600~1200A,蒸发铝丝,使铝蒸汽和氧气发生氧化反应,然后在玻璃表面镀上一层三氧化二铝薄膜;⑤关闭进氧阀门,继续对真空室抽真空使真空度达到2×10‑2~4×10‑2Pa,然后切换蒸发电源至第二组钨蒸发器;⑥对真空室充氧,使真空度达到5×10‑2~2×10‑1Pa,然后开启第二组钨蒸发器,调节电流至800~1600A,蒸发钛丝,使钛蒸汽和氧气发生氧化反应,然后在三氧化二铝薄膜上再镀上一层二氧化钛薄膜;⑦关机,放气,取出工件;⑧将镀膜玻璃置于烘箱内,加热至390至420℃,并保温10~15分钟,降温后得成品。 |