发明名称 MAGNETIC MIRROR PLASMA SOURCE
摘要
申请公布号 EP1388159(B1) 申请公布日期 2011.12.07
申请号 EP20020723836 申请日期 2002.04.10
申请人 GENERAL PLASMA, INC. 发明人 MADOCKS, JOHN, E.
分类号 H01J7/24;H05H1/24;C23C14/28;C23C14/30;C23C14/35;C23C16/50;C23C16/503;C23C16/505;C23C16/54;C23F4/00;H01J37/32;H01J49/42;H01L21/205;H01L21/3065;H05H1/14;H05H1/46 主分类号 H01J7/24
代理机构 代理人
主权项
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