发明名称 |
热处理装置 |
摘要 |
本发明提供一种热处理装置,其包括绝热炉,该绝热炉具有:热处理部,对被处理物进行热处理;空气调整部,对空气进行加热、循环;光催化装置,分解对所述被处理物进行热处理时产生的升华物;以及采光装置,将外部的光采集到所述绝热炉内,其中,所述光催化装置设置在所述采光装置所采集的光能够照射并且与所述循环空气接触的位置上。由此,不依赖于热处理部中所循环的空气温度,能够分解对被处理物进行热处理时产生的升华物。 |
申请公布号 |
CN101324404B |
申请公布日期 |
2011.12.07 |
申请号 |
CN200810111592.9 |
申请日期 |
2008.06.10 |
申请人 |
爱斯佩克株式会社 |
发明人 |
手钱永充 |
分类号 |
G02F1/1333(2006.01)I;F27D7/00(2006.01)I;F27B17/00(2006.01)I;F27D23/00(2006.01)I;H01J9/00(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/1333(2006.01)I |
代理机构 |
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 |
代理人 |
李雪春;武玉琴 |
主权项 |
一种热处理装置,其特征在于包括绝热炉,该绝热炉具有:热处理部,对被处理物进行热处理;空气调整部,对空气进行加热、循环;光催化装置,分解对所述被处理物进行热处理时产生的升华物;采光装置,将外部的光采集到所述空气调整部内;以及反射装置,将所述采光装置采集的光反射到规定位置,其中,所述光催化装置设置在所述反射装置所反射的光能够照射并且与利用所述空气调整部进行循环的空气接触的位置上。 |
地址 |
日本大阪府 |