一种双轴解耦结构的平面电机

摘要

本发明公开了一种双轴解耦结构的平面电机，包括基座和位于其上方的工作平台，所述基座上设有第一驱动线圈、第二驱动线圈、气动悬浮体、间隙传感器和位置传感器，第一和第二驱动线圈在同一平面相垂直摆放；所述工作平台上设有同一平面相垂直摆放的第一永磁体和第二永磁体，其中第一永磁体与第一驱动线圈相垂直，第二永磁体与第二驱动线圈相垂直，另有控制器分别连接两驱动线圈、两传感器和气动悬浮体。本发明双轴共面解耦结构实现同一平面上双轴驱动的二维运动,简化了结构，增大了系统可靠性。

主权项

一种双轴解耦结构的平面电机，包括基座和位于其上方的工作平台，所述基座上设有第一驱动线圈、第二驱动线圈、气动悬浮体、间隙传感器和位置传感器，第一和第二驱动线圈在同一平面相垂直摆放；所述工作平台上设有同一平面相垂直摆放的第一永磁体和第二永磁体，其中第一永磁体与第一驱动线圈相垂直，第二永磁体与第二驱动线圈相垂直，另有控制器分别连接两驱动线圈、两传感器和气动悬浮体。