发明名称 SCRIBING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20110132465(A) 申请公布日期 2011.12.07
申请号 KR20117025240 申请日期 2008.05.28
申请人 MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 HARAGUCHI HIROTAKE;MAEKAWA KAZUYA
分类号 B28D5/00;C03B33/027;C03B33/10;H01L21/301 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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