偏振方位角调整装置以及激光加工装置

摘要

本发明得到一种偏振方位角调整装置，其可以容易地对被加工物进行稳定的激光加工。该装置具有光学单元，该光学单元具有：偏振元件(14)，其使入射来的激光的P波偏振成分透过，并且对激光的S波偏振成分进行反射；以及反射镜(15、15)，其对由偏振元件(14)反射后的激光的S波偏振成分进行反射并向光路的下游侧引导，并且，该光学单元吸收P波偏振成分且将S波偏振成分向光路的下游侧射出，在光学单元中，将偏振元件(14)和反射镜(15、15)配置为，使得激光向光学单元入射的入射光轴和激光从光学单元射出的出射光轴同轴，并且在使光学单元以入射光轴为中心旋转的情况下，维持入射光轴以及出射光轴的光轴方向不变。

主权项

一种偏振方位角调整装置，其特征在于，具有光学单元，该光学单元具有：偏振元件，其使入射来的激光的P波偏振成分透过，并且将所述激光的S波偏振成分进行反射；以及至少2个反射光学元件，其对由所述偏振元件反射后的所述激光的S波偏振成分进行反射并向光路的下游侧引导，并且，该光学单元吸收所述P波偏振成分且将所述S波偏振成分向光路的下游侧射出，在所述光学单元中，将所述偏振元件和所述反射光学元件配置为，使得所述激光向所述光学单元入射的入射光轴和所述激光从所述光学单元射出的出射光轴同轴，且在使所述光学单元以所述入射光轴为中心旋转的情况下，维持所述入射光轴以及所述出射光轴的光轴方向不变。