旋转气浮系统

摘要

一种旋转气浮系统，其包括节流器I、节流器II、压坏、调整圈、轴承压圈、传动环、电机、轴和旋转底座；电机带动轴运转，随之带动传动环转动，气体从旋转底座的下端进入，从节流器II出来，在气压的推动下，传动环升起来，与旋转底座脱离，使之实现近似无摩擦旋转，以及在240度范围内的准确定位，同理，气体从轴承压圈的上端进入，从节流器I出来，使传动环下降而减速。该机构具有结构紧凑，安装简单，应用方便，调整可靠的特点，可以广泛应用于半导体专用设备的旋转气浮系统。

主权项

旋转气浮系统，其特征是其包括电机(7)、和电机(7)相连接的轴(8)、设置在电机(7)上端的旋转底座(9)、设置在轴(8)上的压环(2)、通过销(10)与压环(2)相连接的传动环(6)、通过调整圈(3)与压环(2)固定连接的轴承压圈(4)、设置在轴承压圈(4)内的节流器I(1)以及设置在旋转底座(9)上的节流器II(5)。