发明名称 |
一种金属纳米晶存储器栅叠层的制备方法 |
摘要 |
本发明属于半导体存储器技术领域,具体为一种金属纳米晶存储器栅叠层的制备方法。具体步骤包括:在单晶硅衬底上淀积一层隧穿层;在隧穿层上旋涂一层聚酰亚胺膜;将阳极氧化铝模板放置在聚酰亚胺膜上,作为刻蚀掩膜;对聚酰亚胺膜进行反应离子刻蚀,形成聚酰亚胺掩膜;去除阳极氧化铝模板;在聚酰亚胺掩膜中淀积一层超薄金属;采用lift-off技术去除聚酰亚胺掩膜;淀积一层阻挡层;淀积栅电极。本发明以阳极氧化铝作为非光刻掩模板,所形成的纳米晶阵列具有很高的密度,而且大小分布均匀。 |
申请公布号 |
CN101908477B |
申请公布日期 |
2011.12.07 |
申请号 |
CN201010242584.5 |
申请日期 |
2010.08.02 |
申请人 |
复旦大学 |
发明人 |
陈红兵;丁士进 |
分类号 |
H01L21/28(2006.01)I;H01L21/283(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/28(2006.01)I |
代理机构 |
上海正旦专利代理有限公司 31200 |
代理人 |
陆飞;盛志范 |
主权项 |
一种金属纳米晶存储器栅叠层的制备方法,其特征在于采用阳极氧化铝模板作为反应离子束刻蚀阻挡层,在聚酰亚胺薄膜中形成与氧化铝模板相同的纳米孔阵列;去除氧化铝模板,再通过溅射的方法淀积一层厚度为3—10纳米的超薄金属;然后去除聚酰亚胺薄膜,即形成高密度、分布均匀的纳米晶阵列。 |
地址 |
200433 上海市杨浦区邯郸路220号 |