一种硬质合金工具金刚石过渡层的制备方法

摘要

本发明属于金刚石涂层技术领域，尤其是一种硬质合金工具金刚石过渡层的制备方法，该方法将经简单表面处理后的硬质合金基底装入等离子体化学气相沉积装置中，通入由H2占总体积比94-98%、硅氧烷占总体积比1-3%、碳氢化合物气体占总体积比1-3%而组成的混合气体，在压力为0.5～8kPa下，在低温放电产生的等离子体的作用下，H2、硅氧烷和碳氢化合物将被激发和分解，同时将硬质合金基底加热至600-850°C，沉积时间为1-10小时，即可在其表面获得以SiC为基的过渡层。本发明的优点在于：既可有效地提高金刚石涂层的附着力和确保硬质合金基底免受常规处理造成的基底机械强度降低的困扰，且过渡层的制备仅使用无毒、廉价的硅氧烷等为原料，其安全性和经济性好。

主权项

一种硬质合金工具金刚石过渡层的制备方法，其特征在于，它具体包括以下步骤：将经简单表面处理后的硬质合金基底装入等离子体化学气相沉积装置中，通入由H2占总体积比94‑98%、硅氧烷占总体积比1‑3%、碳氢化合物气体占总体积比1‑3%而组成的混合气体，在压力为0.5～8kPa下，在低温放电产生的等离子体的作用下，H2、硅氧烷和碳氢化合物将被激发和分解，同时将硬质合金基底加热至600‑850°C，沉积时间为1‑10小时，即可在其表面获得以SiC为基的过渡层。