发明名称 |
感光性树脂组合物及使用该组合物的图案形成方法 |
摘要 |
将一种含有多官能环氧树脂和由下述通式(1)表示的阳离子聚合引发剂的感光性树脂组合物,作为图案形成组合物进行使用。[化学式1](式中,X 1和X 2表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者是可以与取代基键合的烷氧基,它们之间可以相同或不同;Y表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者是可以与取代基键合的烷氧基)。 |
申请公布号 |
CN1849560B |
申请公布日期 |
2011.12.07 |
申请号 |
CN200480026212.1 |
申请日期 |
2004.12.15 |
申请人 |
东京応化工业株式会社 |
发明人 |
前田浩辉;高桥亨;胜又直也 |
分类号 |
G03F7/029(2006.01)I;G03F7/038(2006.01)I;C08G59/68(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/029(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
孙秀武;邹雪梅 |
主权项 |
1.感光性树脂组合物,其特征在于,其中含有:下述通式(3)所示的5官能以上的多官能双酚A酚醛清漆型环氧树脂,其中所述官能是指环氧树脂中的环氧基的数目,<img file="FSB00000474802200011.GIF" wi="1754" he="923" />式中,R<sub>1</sub>~R<sub>6</sub>各自独立地表示H或CH<sub>3</sub>,n为表示重复单元的大于0的整数;下述通式(1)所示的阳离子聚合引发剂:<img file="FSB00000474802200012.GIF" wi="1904" he="657" />式中,X<sub>1</sub>和X<sub>2</sub>表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者烷氧基,并且它们之间可以相同或不同;Y表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者烷氧基;和萘酚型敏化剂。 |
地址 |
日本神奈川县川崎市 |