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发明名称 A Device and Method for Finely Adjusting Height of Coating Region Stage of A Substrate Floating Unit, and A Substrate Floating Unit and A Coating Apparatus Having the Same
摘要
申请公布号 KR101089613(B1) 申请公布日期 2011.12.05
申请号 KR20090090286 申请日期 2009.09.23
申请人 发明人
分类号 B05B13/02;B05C13/02;H01L21/02 主分类号 B05B13/02
代理机构 代理人
主权项
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