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经营范围
发明名称
slurry delivery arm structure for chemical-mechanical polishing machine
摘要
申请公布号
KR200457068(Y1)
申请公布日期
2011.12.05
申请号
KR20080014010U
申请日期
2008.10.22
申请人
发明人
分类号
B24B37/00;B24B57/00;H01L21/304
主分类号
B24B37/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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