摘要 |
L'invention concerne un système de détection de cathodoluminescence comprenant : - une optique de collection (112) collectant un rayonnement lumineux (108) provenant d'un échantillon éclairé par un faisceau de particules chargées et renvoyant ledit rayonnement (108) vers des moyens d'analyse, ladite optique de collection (112) étant disposée dans une chambre, dite chambre à vide, où règne une pression inférieure à la pression atmosphérique, et - des moyens d'adaptation (316) du rayonnement lumineux disposés en aval de l'optique collection (112) et prévus pour adapter ledit rayonnement lumineux (108) à l'entrée des moyens d'analyse ; ledit système étant caractérisé en ce que tout ou partie des moyens d'adaptation (316) sont disposés dans un environnement où règne une pression supérieure à la pression dans ladite chambre à vide.
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