发明名称 SYSTEME DE DETECTION DE CATHODOLUMINESCENCE SOUPLE ET MICROSCOPE METTANT EN OEUVRE UN TEL SYSTEME.
摘要 L'invention concerne un système de détection de cathodoluminescence comprenant : - une optique de collection (112) collectant un rayonnement lumineux (108) provenant d'un échantillon éclairé par un faisceau de particules chargées et renvoyant ledit rayonnement (108) vers des moyens d'analyse, ladite optique de collection (112) étant disposée dans une chambre, dite chambre à vide, où règne une pression inférieure à la pression atmosphérique, et - des moyens d'adaptation (316) du rayonnement lumineux disposés en aval de l'optique collection (112) et prévus pour adapter ledit rayonnement lumineux (108) à l'entrée des moyens d'analyse ; ledit système étant caractérisé en ce que tout ou partie des moyens d'adaptation (316) sont disposés dans un environnement où règne une pression supérieure à la pression dans ladite chambre à vide.
申请公布号 FR2960699(A1) 申请公布日期 2011.12.02
申请号 FR20100054109 申请日期 2010.05.27
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE 发明人 KOCIAK MATHIEU;ZAGONEL LUIZ FERNANDO;TENCE MARCEL;MAZZUCCO STEFANO
分类号 H01J37/22 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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