| 发明名称 |
SYSTEME DE DETECTION DE CATHODOLUMINESCENCE REGLABLE ET MICROSCOPE METTANT EN OEUVRE UN TEL SYSTEME. |
| 摘要 |
<p>Système de détection de cathodoluminescence comprenant une optique de collection (112) collectant un rayonnement lumineux provenant d'un échantillon (éclairé par un faisceau de particules chargées et renvoyant ledit rayonnement lumineux vers des moyens d'analyse, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens (606,614-618) de positionnement de ladite optique de collection (112) sur au moins une dimension.</p> |
| 申请公布号 |
FR2960698(A1) |
申请公布日期 |
2011.12.02 |
| 申请号 |
FR20100054108 |
申请日期 |
2010.05.27 |
| 申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE |
发明人 |
KOCIAK MATHIEU;ZAGONEL LUIZ FERNANDO;TENCE MARCEL;MAZZUCCO STEFANO |
| 分类号 |
H01J37/22;G02B7/00;H01J37/26 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
