发明名称 使用液体注入成模方式制造电子元件之方法
摘要
申请公布号 TWI353620 申请公布日期 2011.12.01
申请号 TW093123698 申请日期 2004.08.06
申请人 道康寧公司 美國 发明人 章泰米;马克 多伯力司吉;克里思多福 温帝;丹尼尔 索门
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种使用液体注入成模方式制造电子元件之方法,其包含:a)将黏晶黏着剂组合物涂布于基材,b)将黏晶黏着剂组合物硬化而形成黏晶黏着剂,c)电浆处理黏晶黏着剂之表面,d)电浆处理半导体小晶片之表面,e)使半导体小晶片之经电浆处理表面接触黏晶黏着剂之经电浆处理表面,f)将半导体小晶片连线焊接至基材,g)将一加成反应可硬化液态聚矽氧组合物在步骤f)之产物上注入成模,其中该聚矽氧组合物充填该连线焊接之半导体小晶片中的孔隙,且在该基材上形成密封而保护其免于环境暴露,及视情况地h)在与黏晶黏着剂相反之基材表面上形成焊球。
地址 美国