| 主权项 |
一种液处理装置，其特征系具备：基板保持部，其系将基板保持于水平，且可与基板一起旋转；旋转杯，其系围绕被保持于上述基板保持部的基板，且可与基板一起旋转；旋转机构，其系使上述旋转杯及上述基板保持部一体旋转；液供给机构，其系对基板供给处理液；及排气．排液部，其系进行上述旋转杯的排气及排液；上述旋转杯系包含环状的庇护部分，上述排气．排液部系具备：环状的排液杯、及包围上述旋转杯及上述排液杯的环状的排气杯，上述排液杯系接受由形成于上述旋转杯的处理液排出部排出的处理液而从排液口排液，上述排气杯系于上述环状的庇护部分的上方，形成与上述庇护部分之间成环状的导入口，经由上述导入口取入来自的上述旋转杯的周围的气体成分而从排气口排气，且，来自上述排液杯的排液及来自上述排气杯的排气系分别独立进行。 |
