发明名称 积体电路晶圆之晶粒选取设备
摘要
申请公布号 TWM417647 申请公布日期 2011.12.01
申请号 TW100207914 申请日期 2011.05.04
申请人 精材科技股份有限公司 桃園縣中壢市中壢工業區吉林路23號9樓 发明人 李蔚杰
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 刘绪伦 台中市南屯区永春东一路549号3楼
主权项 一种积体电路晶圆之晶粒选取设备,供以设置经切割制程后之一晶圆,该晶圆系经切割形成多数相邻并列之晶粒,该晶圆底部贴合于一接合片上,该接合片之周围环设一框架以供作业人员拿取,所述晶粒选取设备系具有中空之一选取平台,该晶圆之直径小于该选取平台之一中空区域,可将该晶圆悬放于该中空区域上并使该接合片之周围形成自该中空区域之外缘延伸至该框架内缘之一延伸部,其特征在于:该选取平台于所述中空区域之周缘具有一凸肋,该凸肋之周围邻接一容置部供以放置所述框架,且该凸肋自该容置部凸起之高度与该凸肋之横向宽度之总和系大于所述延伸部。
地址 桃园县中坜市中坜工业区吉林路23号9楼