| 主权项 |
一种表面声波器件，其包括：一类钻碳膜，其具有奈米级厚度，该类钻碳膜之厚度Z(f)满足条件式(1)：Z(f)=M×Z0/(f/f0)，Z(f)≧1奈米………(1)其中，Z0为表面声波器件之工作频率为f0时之类钻碳膜之厚度，f为表面声波器件之工作频率，其取值范围为20~1000千兆赫兹，M之取值范围为1~15；一位于该类钻碳膜上之锌氧化物层，其具有奈米级厚度，该锌氧化物层之厚度Y(f)满足条件式(2)：Y(f)=N×Y0/(f/f0)………(2)其中，Y0为表面声波器件之工作频率为f0时之锌氧化物层之厚度，N之取值范围为1~1.5；及至少一位于该锌氧化物层上之指叉换能器。 |
