发明名称 Verfahren zur Herstellung von Halbleiter-Bauelementen und entsprechendes Halbleiter-Bauelement
摘要 Die vorliegende Erfindung schafft ein Verfahren zum Herstellen von Halbleiterbauelementen und ein durch ein solches Verfahren erhältliches Bauelement. Das Verfahren umfasst folgende Schritte: Fixieren einer leitfähigen Folie (14) auf einem Träger (10); Aufkleben von Halbleiterchips (18, 20) auf die leitfähige Folie (14) unter Verwendung einer Kleberschicht (16), wobei Anschlusskontakte (22) aufweisende aktive Oberflächen der Halbleiterchips (18, 20) sich auf der der Folie (14) zugehörenden Seite der Chips (18, 20) befinden; Übermolden der auf die leitfähige Folie (14) aufgeklebten Chips (18, 20) mit einer Moldmasse (26); und Lösen der leitfähigen Folie (14) mit den übermoldeten Chips (18, 20) vom Träger (10). Dabei ist die Klebeschicht (16) derart strukturiert, dass zumindest Anschlusskontakte (22) der Halbleiterchips (18, 20) frei von der Klebeschicht (16) sind und frei von der Moldmasse (26) gehalten werden.
申请公布号 DE102010029550(A1) 申请公布日期 2011.12.01
申请号 DE20101029550 申请日期 2010.06.01
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 BRUENDEL, MATHIAS;HAAG, FRIEDER;SCHOLZ, ULRIKE
分类号 H01L21/60;H01L23/50 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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