摘要 |
Die vorliegende Erfindung ist angepasst, um zu verhindern, dass ein Diaphragma von einer Wärmebelastung verformt wird, welche von Wärmeausdehnungskoeffizienten einer Sensorhaupteinheit und eines Befestigungselements verursacht wird, und umfasst eine Sensorhaupteinheit 2, an die eine feststehende Elektrode 21 befestigt ist, eine Diaphragmastruktur 3, die einen geschlossenen Raum zwischen der Diaphragmastruktur 3 und der Sensorhaupteinheit 2 bildet, und ein Befestigungselement 4, welches an die Diaphragmastruktur 3 in einer Art des Umgebens eines Druck aufnehmenden Teils der Diaphragmastruktur 3 befestigt ist, um ein Fluid an das Druck aufnehmenden Teil zu führen, wobei die Diaphragmastruktur 3 eine flache ebene Diaphragmahaupteinheit 31 und erste und zweite Ringelemente 32, 33 umfasst, welche jeweils einen bekannten Wärmeausdehnungskoeffizienten besitzen und jeweils auf beiden Seiten von einem Umfang der Diaphragmahaupteinheit 31 vorgesehen sind.
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