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Verfahren zum Herstellen einer strukturierten Schicht aus einem Precursor für ein Oxid oder Mischoxid eines oder mehrerer Metalle, ausgewählt unter Magnesium, Strontium, Barium, Aluminium, Gallium, Indium, Silicium, Zinn, Blei und den Übergangsmetallen, umfassend die Schritte: (a) Lösen mindestens einer Verbindung des einen oder mehrerer Metalle in einem organischen Lösungsmittel und/oder Austauschen eines Liganden der bzw. einer der gelösten Metallverbindung(en) gegen einen stabilisierenden Liganden, (b) Zusetzen eines Liganden zu der Lösung, der mindestens eine photochemisch polymerisierbare Gruppe und mindestens eine solche Gruppe aufweist, die eine stabile Komplexbildung ermöglicht, und Ausbilden eines Sols mit oder aus dem Produkt dieser Reaktion (Precursor), (c) Auftragen des Sols auf ein Substrat in Form einer Schicht, (d) Anisotropes Belichten der Schicht derart, dass in den belichteten Bereichen eine Polymerisation photochemisch polymerisierbarer Gruppen stattfindet, wobei die Schicht in Schritt (c) in strukturierter Form aufgetragen wird und/oder die nicht belichteten Bereiche der Schicht... |
