CRYOGENIC PUMP WITH A DEVICE FOR PREVENTING THE MEMORY EFFECT

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (21) zur Vermeidung des Memory-Effekts bei Kryopumpen mit einer ersten Kühlstufe (23) und einer zweiten Kühlstufe (25), welche in axialer Richtung an die erste Kühlstufe (23) anschliesst. Eine zylinderförmige Abschirmung (31) hat eine Öffnung (37) und einem Boden (35), welcher Boden (35) von dem zweistufigen Kühlkopf (21) mittig derartig durchdrungen ist, dass die erste Kühlstufe (23) ausserhalb der Abschirmung (31) und die zweite Kühlstufe (25) innerhalb der Abschirmung (31) angeordnet sind. Zwischen der Abschirmung (31) und der ersten Kühlstufe (23) ist ein Zwischenraum (34) gebildet, und der Boden der Abschirmung (31) ist mit der ersten Kühlstufe (23) mittels einer Wärmebrücke (33) wärmeleitend verbunden ist. Ein als Pumpfläche dienenden Kühlpaneel (43) ist mit der zweiten Kühlstufe (25) verbunden und innerhalb der Abschirmung (31) vorgesehen. Ein Baffle (39)ist im Bereich der Öffnung (37) der zylinderförmigen Abschirmung (31) angeordnet und steht in wärmeleitendem Kontakt mit der Abschirmung (31) und/oder der ersten Kühlstufe (21). Die Wärmebrücke (33) ist zwischen der Abschirmung (31) und der ersten Kühlstufe (23) in Abstand von deren Stirnseite (55) vorgesehen. Die Erfindung betrifft auch ein Gehäuse (12) das den Kühlkopf (21) umschliesst und eine Kryopumpe (11), in der der Kühlkopf (21) aufgenommen ist.