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发明名称 Process for manufacturing micromechanical devices containing a getter material and devices so manufactured
摘要
申请公布号 AU2006322862(C1) 申请公布日期 2011.12.01
申请号 AU20060322862 申请日期 2006.11.28
申请人 SAES GETTERS S.P.A. 发明人 RIZZI, ENEA
分类号 B81C99/00 主分类号 B81C99/00
代理机构 代理人
主权项
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