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发明名称 RESIST COMPOSITION FOR IMMERSION EXPOSURE AND METHOD OF FORMING RESIST PATTERN
摘要
申请公布号 KR101088929(B1) 申请公布日期 2011.12.01
申请号 KR20097008301 申请日期 2007.10.12
申请人 发明人
分类号 G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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