发明名称 POLISHING APPARATUS AND POLISHING METHOD
摘要
申请公布号 KR101088785(B1) 申请公布日期 2011.12.01
申请号 KR20077013603 申请日期 2005.11.15
申请人 发明人
分类号 B24B37/04;B24B37/00;B24B37/005;B24B37/07;B24B37/20;H01L21/304 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
主权项
地址