一种多晶硅磨削装置

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅磨削装置，包括床身、工作台、滑动导轨、底座，所述工作台安装于床身一侧的滑动导轨上，所述工作台上设置有旋转台，所述旋转台上安装有压紧装置，工作台一侧安装有两个底座，所述底座内分别设置有粗精磨混合砂轮和抛光砂轮，所述粗精磨混合砂轮和抛光砂轮的外端面与压紧装置上多晶硅锭的端面相平行。本实用新型通过粗精磨混合砂轮、抛光砂轮分别安装于工作台一侧，多晶硅锭可以经过一台磨床直接完成粗磨、精磨、抛光，旋转台可以调节多晶硅锭需要加工的表面，从而使多晶硅各个表面都能一次性加工，其加工省时省力、效率高，设备成本低，且工件无需在不同的磨床之间的搬运、夹持，从而多晶硅的成品率高。

主权项

一种多晶硅磨削装置，其特征在于：包括床身(1)、工作台(2)、滑动导轨(3)、底座(4)，所述工作台(2)安装于床身(1)一侧的滑动导轨(3)上，所述工作台(2)上设置有旋转台(13)，旋转台(13)上安装有压紧装置(5)，工作台(2)一侧安装有两个底座(4)，所述底座(4)内分别设置有粗精磨混合砂轮(6)和抛光砂轮(7)，所述粗精磨混合砂轮(6)和抛光砂轮(7)的外端面与压紧装置(5)上多晶硅锭(14)的端面相平行。