一种用于硅片的水基型线切割液

摘要

本发明提供了一种用于硅片的水基型切割液，由下列质量份数配比的原料组成：聚乙烯醇，2-10份，苯并三氮唑，0.05份，去离子水，89.95-98份。该水基切割液的特点是成本低、对环境友好。由于聚乙烯醇水溶液良好粘度和分散性能，刃料在本切割液中分散性能好，特别是在沉降后更容易再分散。使用本发明的水基切割液，成品合格率高，切割后的硅片更容易清洗。

主权项

一种用于硅片的水基型切割液，其特征在于由下列质量份数配比的原料组成：聚乙烯醇，                       2‑10份，苯并三氮唑，                      0.05份，去离子水，                        89.95‑98份。