曝光装置

摘要

本发明提供一种曝光装置，能够对与产生在工件基板上的应变变形极力对应的掩模图形像进行投影。本发明的曝光装置具备应变变形形成机构(17)，该应变变形形成机构(17)包括：平行平面板(31)，设置在将掩模图形(13’)投影到工件基板(14)的投影光路中；约束部件，将由平行平面板(31)的彼此相交的两边构成的角部(31A)和角部(31A)之间的中间部作为支点；加压部件，沿投影光路的光轴方向，对平行平面板(31)的各角部(31A)施加加压力，以约束部件作为支点使平行平面板(31)应变变形。

主权项

一种曝光装置，其特征在于，具备应变变形形成机构，该应变变形形成机构包括：应变变形用平行平面板，设置在将掩模图形投影到工件基板的投影光路中而被应变变形；约束部件，将由该平行平面板的彼此相交的两边构成的角部和角部之间的中间部作为支点；加压部件，沿所述投影光路的光轴方向对所述平行平面板的所述各角部施加加压力，以所述约束部件作为支点使所述平行平面板应变变形。