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发明名称 PRODUCTION METHOD OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 EP1808887(B1) 申请公布日期 2011.11.30
申请号 EP20050793132 申请日期 2005.10.12
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 KATO,T.;SEKIZAWA, MASAYOSHI;OKADA, MAMORU;KIJIMA, HISASHI
分类号 H01L21/304;B24B9/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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