四折叠梁变面积差分电容结构微加速度传感器及制备方法

摘要

本发明属于微机电系统领域，涉及一种四折叠梁变面积差分电容结构微加速度传感器及其制备方法。由可动质量块、成对的弹簧折叠梁、插指状下电极和微加速度传感器外框组成；在外部载荷的作用方向上，可动质量块的前端和后端通过弹簧折叠梁连接在加速度传感器外框上，可动质量块、弹簧折叠梁、加速度传感器外框为一体结构；在可动质量块的下表面制作有上电极，上电极与插指状下电极间具有一定的空隙，从而组成平板差分电容，上电极通过加速度传感器外框与插指状下电极键合在一起。本发明所述的传感器结构，明显地解决了变间隙结构存在的非线性问题，利于后续检测电路的制作，同时使振动模态更好的分离，提高了器件的抗干扰能力并增加传感器的灵敏度。

主权项

四折叠梁变面积差分电容结构微加速度传感器，其特征在于：由可动质量块(1)、成对的弹簧折叠梁(2、2′)、插指状下电极(3、3′)和微加速度传感器外框(5)组成；在外部载荷的作用方向上，可动质量块(1)的前端和后端通过弹簧折叠梁(2、2′)连接在加速度传感器外框(5)上，可动质量块(1)、弹簧折叠梁(2、2′)、加速度传感器外框(5)为一体结构；在可动质量块(1)的下表面制作有上电极(6)，上电极(6)与插指状下电极(3、3′)间具有一定的空隙，从而组成平板差分电容，上电极(6)通过加速度传感器外框(5)与插指状下电极(3、3′)键合在一起。