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发明名称
摘要
申请公布号
JP4827237(B2)
申请公布日期
2011.11.30
申请号
JP20050282651
申请日期
2005.09.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;C23C16/44;H01L21/3065
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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