一种多晶硅块检测装置

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅块检测装置，包括工作台，所述工作台台面上从左往右依次设置有接收装置、发射装置、成像系统，所述接收装置、发射装置对应设置，接收装置、发射装置分别与成像系统连接，接收装置、发射装置之间设置有旋转台，所述旋转台一端连接有单轴伺服电机。本实用新型能够全方位地对多晶硅块进行检测，成像过程将自动标出杂质的位置所在，且平均每个硅块的检测时间不超过一分钟，加快了加工效率，提高了产品质量。

主权项

一种多晶硅块检测装置，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)台面上从左往右依次设置有接收装置(3)、发射装置(2)、成像系统(5)，所述接收装置(3)、发射装置(2)对应设置，接收装置(3)、发射装置(2)分别与成像系统(5)连接，接收装置(3)、发射装置(2)之间设置有旋转台(4)。