发明名称 ENGINEERING FLAT SURFACES ON MATERIALS DOPED VIA PULSED LASER IRRADIATION
摘要
申请公布号 EP2240955(A4) 申请公布日期 2011.11.30
申请号 EP20090707607 申请日期 2009.02.02
申请人 PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE 发明人 MAZUR, ERIC;WINKLER, MARK
分类号 H01L31/18;H01L21/223;H01L21/268;H01L31/0288;H01L31/101 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人
主权项
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