在极角和方位角方向均具有输出限制的多层光学膜及相关构造

摘要

本发明提供了包括布置成光学重复单元的微层的膜。相邻微层具有面内折射率失配Δnx、Δny，所述面内折射率失配被设计成可提供类似反射镜的同轴特性，使得所述膜对扩展波长段内任何偏振态的垂直入射光的反射率为至少75％。相邻微层也具有折射率失配Δnz，所述折射率失配使得所述膜对在所述扩展波长段内在第一入射平面内以角度θoblique入射到所述膜上的p偏振光具有减小的反射率R1和增大的透射率，其中R1不超过同轴反射率的最小值的一半。此外，Δnx和Δny的差值足够大而使得对于在正交于所述第一平面的第二入射平面内入射到所述膜上的光，所述膜对于以任何角度入射的p偏振的所述光的反射率R2为至少75％。

主权项

一种具有基本上平坦的外表面的反射膜，包括：多个微层，其被布置成光学重复单元以在扩展波长段上反射光，相邻的所述微层表现出显著的沿x轴的面内折射率失配Δnx和沿y轴的面内折射率失配Δny，使得对于在所述扩展波长段内的垂直入射光，所述反射膜具有对沿所述x轴偏振的光的反射率Rnormalx和对沿所述y轴偏振的光的反射率Rnormaly，所述Rnormalx和所述Rnormaly均为至少75％；其中，相邻的所述微层还表现出显著的沿面外z轴的折射率失配Δnz，使得对于在第一入射平面内入射到所述反射膜上的所述扩展波长段内的光，所述反射膜具有反射率R1，所述反射率R1不超过对以角度θoblique入射的p偏振的光的Rnormalmin的一半，其中所述Rnormalmin为所述Rnormalx和所述Rnormaly中的较小者；并且其中，所述Δnx和所述Δny的差值足够大而使得对于在正交于所述第一入射平面的第二入射平面内入射到所述反射膜上的所述扩展波长段内的光，所述反射膜对所有入射角度的p偏振的光的反射率R2为至少75％。