发明名称 TAKE-UP TYPE VACUUM FILMING DEVICE
摘要
申请公布号 EP2050838(A4) 申请公布日期 2011.11.30
申请号 EP20070791339 申请日期 2007.07.26
申请人 ULVAC, INC. 发明人 HAYASHI, NOBUHIRO;FUJII, TOMOHARU;TADA, ISAO;NAKATSUKA, ATSUSHI
分类号 C23C14/56;B05C1/08;C23C14/04;H01G13/00 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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