发明名称 |
投射曝光设备中的光学元件的重力补偿 |
摘要 |
本发明涉及一种用于在投射曝光设备中安装光学元件的重力补偿器(1,2),以及相应的投射曝光设备,其中,所述重力补偿器(1,2)至少部分地补偿安装的光学元件的重力,并同时使光学元件的位置能够变化,而所补偿的重力在位置改变期间不以不允许的方式改变。这尤其适用于要补偿大重力。此外,根据本发明的重力补偿器使得能够在不同的气体环境中使用,以及补偿相应的老化效应。 |
申请公布号 |
CN102265219A |
申请公布日期 |
2011.11.30 |
申请号 |
CN200980149514.0 |
申请日期 |
2009.12.11 |
申请人 |
卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
发明人 |
诺伯特.米尔伯格;索斯滕.拉塞尔;阿明.舍帕克;于尔根.费希尔;马赛厄斯.奥思 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
邱军 |
主权项 |
一种重力补偿器,用于在微光刻投射曝光设备中安装光学元件并补偿作用在方向z上并被施加到力作用点的力F,包括:‑补偿元件的衔铁,所述衔铁在所述力F的方向z上可移动,并包括所述力作用点,所述补偿元件在所述力F的方向z上具有第一力‑距离特征曲线,所述补偿元件具有第一支承刚度S1,所述第一支承刚度S1由包括所述力F的第一力区间ΔF1的最大和最小力之间的差ΔFF1与围绕第一点z0的第一距离区间Δz1的绝对值之间的商给出,其中,所述第一距离区间Δz1被所述第一力‑距离特征曲线分配给所述第一力区间ΔF1,所述力F被所述第一力‑距离特征曲线分配给所述第一点z0,‑引导装置,所述引导装置在所述力F的方向上具有第二力‑距离特征曲线,用于引导所述补偿元件的所述衔铁,并具有第二支承刚度S2,所述第二支承刚度S2由第二力区间ΔF2的最大和最小力之间的差ΔFF2与所述第一距离区间Δz1的绝对值的商给出,其中,所述第二力区间ΔF2由围绕所述第一点z0的第一距离区间Δz1通过所述第二力‑距离特征曲线分配,‑其中,所述重力补偿器的力由来自于所述第一力‑距离特征曲线和来自于所述第二力‑距离特征曲线的力的相加产生,并且其中‑由力的相加产生的力‑距离特征曲线具有第三支承刚度S3,其来自于包括所述力F的至少一个第三力区间ΔF3的最大和最小力之间的差ΔFF3与围绕至少一个点z0*的所述第一距离区间Δz1的绝对值的商,其中所述至少一个第三力区间ΔF3由所述产生的力‑距离特征曲线通过围绕所述至少一个点z0*的所述第一距离区间Δz1定义,并且在此情况中,所述至少一个点z0*由所述产生的力‑距离特征曲线分配给所述力F,并且其中‑所述第三支承刚度S3小于或等于所述第一支承刚度S1,以及/或者其中所述产生的力‑距离特征曲线具有彼此相距超过所述第一距离区间Δz1的至少两个点z0*,以及/或者其中,在所述产生的力‑距离特征曲线中,围绕所述力F的差ΔFF1被分配给大于所述第一距离区间Δz1的距离区间。 |
地址 |
德国上科亨 |