一种多晶硅还原炉启动方法及系统

摘要

本发明公开了一种多晶硅还原炉的启动系统，该多晶硅还原炉中的硅芯对呈外环、中环和内环排列，外环包括外环一、外环二和外环三，中环包括中环一和中环二，该启动系统包括：交流高压电源、直流预启动电源、直流运行电源、电源切换装置、控制装置、多个高压隔离开关和多个接地保护电路。在本发明公开的启动系统中，无需对硅芯进行外部烘烤，缩短了启动时间，相应的提高了生产效率，并降低了生产成本；由于只有位于外环的硅芯对接入交流高压电源，因此只有与位于外环的硅芯对所对应的电极、以及位于外环的硅芯对与交流高压电源之间的电缆需要采用高绝缘等级材料制造，进一步降低了生产成本。本发明还公开了一种多晶硅还原炉的启动方法。

主权项

一种多晶硅还原炉的启动系统，其特征在于，所述多晶硅还原炉中的硅芯对呈外环、中环和内环排列，所述外环包括外环一、外环二和外环三，所述中环包括中环一和中环二，所述启动系统包括：交流高压电源、直流预启动电源、直流运行电源、电源切换装置、控制装置、多个高压隔离开关和多个接地保护电路；所述电源切换装置包括交流高压电源开关、直流预启动电源开关和直流运行电源开关；所述交流高压电源通过所述交流高压电源开关分别向位于所述外环的硅芯对供电；所述直流预启动电源通过所述直流预启动电源开关分别向位于所述外环、中环和内环的硅芯对供电；所述直流运行电源通过所述直流运行电源开关分别向位于所述外环、中环和内环的硅芯对供电；位于所述外环的硅芯对与所述直流预启动电源之间设置所述高压隔离开关；位于所述外环的硅芯对与所述直流运行电源之间设置所述高压隔离开关；所述直流预启动电源、直流运行电源和所述交流高压电源分别连接有所述接地保护电路；所述控制装置分别与所述电源切换装置、所述多个高压隔离开关连接；通过所述电源切换装置依次切换所述交流高压电源、直流预启动电源和直流运行电源为所述还原炉供电。