| 发明名称 |
TANTALUM FILM HAVING A SINGLE CRYSTAL MICROSTRUCTURE AND A MICROELECTRONIC DEVICE CONTAINING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL178252(A) |
申请公布日期 |
2011.11.30 |
| 申请号 |
IL20060178252 |
申请日期 |
2006.09.21 |
| 申请人 |
H.C. STARCK INC.;NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY |
发明人 |
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| 分类号 |
B81C1/00;C23C14/16;C23C14/54;C23C16/06;C30B23/00;C30B25/00 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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