| 发明名称 |
METHOD FOR MICROFABRICATING STRUCTURES USING SILICON-ON-INSULATOR MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1364398(A4) |
申请公布日期 |
2011.11.30 |
| 申请号 |
EP20020708936 |
申请日期 |
2002.01.02 |
| 申请人 |
THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC. |
发明人 |
BORENSTEIN, JEFFREY |
| 分类号 |
H01L21/46;B81C1/00;C23F1/00 |
主分类号 |
H01L21/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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