发明名称 | 用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置 | ||
摘要 | 本发明涉及对光学器件进行旋涂光刻胶时的辅助卡具,特别是一种用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置,由可穿置连接在涂胶机旋转轴上的具有竖直周缘壁的底盘和旋扣式连接在底盘周缘壁上的盖板构成,在所述底盘周缘壁的下部设有至少3个均布的台肩;所述的盖板顶部中心设有一垂向通孔,在该通孔中通过弹簧设置一可使之上下滑动的滑动轴,该滑动轴的下端固设一弧形压板。本发明辅助装置为实现凹球面器件旋涂光刻胶提供了可行的工艺装备,其操作便捷、安全可靠。 | ||
申请公布号 | CN101311831B | 申请公布日期 | 2011.11.30 |
申请号 | CN200810050937.4 | 申请日期 | 2008.07.08 |
申请人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明人 | 冯晓国;赵晶丽;梁凤超;高劲松 |
分类号 | G03F7/16(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/16(2006.01)I |
代理机构 | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人 | 赵炳仁 |
主权项 | 一种用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置,其特征在于,由可穿置连接在涂胶机旋转轴上的具有竖直周缘壁的底盘(1)和旋扣式连接在底盘(1)周缘壁上的盖板(2)构成,在所述底盘(1)周缘壁的下部设有至少三个均布的台肩(11);所述的盖板(2)顶部中心设有一垂向通孔,在该通孔中通过弹簧(5)设置一可使之上下滑动的滑动轴(4),该滑动轴(4)的下端固设一弧形压板(3)。 | ||
地址 | 130033 吉林省长春市东南湖大路16号 |