彩色滤光片之重工流程

摘要

本发明涉及一种重工流程，尤其是指于检测结果错误之基板不进行曝光步骤，藉此将可以显影步骤进行重工的一种彩色滤光片之重工流程，主要包括有以下步骤：涂饰一光阻在一基板上；对基板进行一第一次检测；将检测结果正常之基板进行一曝光步骤，而检测结果错误之基板则不进行曝光步骤；将进行曝光的基板及未进行曝光的基板进行一显影步骤；及对显影后的基板进行一烘烤步骤，藉此将可节省重工步骤所需要花费的时间。

主权项

一种彩色滤光片之重工流程，其特征在于，主要包括有以下步骤：A.涂饰一光阻在一基板上，其中该光阻为负光阻；B.对该基板进行一第一次检测步骤；C.将检测结果正常之基板上进行一曝光步骤，而检测结果错误之基板则不进行该曝光步骤；D.将曝光的基板及未进行曝光的基板同时进行一显影步骤，在该显影步骤完成后，便已将出现错误之基板上的光阻移除，且该第一次检测时出现错误的基板不用额外进行光阻去除的步骤；及E.将未经曝光的基板送回A步骤。