直线电机式硅片搬送机构

摘要

本发明公开了一种直线电机式硅片搬送机构，解决了现有技术存在的传送速度低和碎片率高的问题。包括PLC和处理硅片平台（3），在处理硅片平台（3）的两侧分别设置有柔性皮带进料和出料机构，在柔性皮带进料机构的下方分别设置有输入或输出硅片行走横梁，与PLC电连接的伺服电机（18）通过驱动同步带（19）驱动两凸轮转动，带动升降板（24）上下移动，在升降板（24）上端面上固定设置有直线电机定子（27），直线电机动子（28）可沿直线电机定子（27）在左右水平方向上移动，在直线电机动子（28）上端固定设置有传送硅片的负压吸盘（6），传送硅片的负压吸盘（6）设置在输入吸盘让位缺口（13）中，适用于全自动硅片电池生产线。

主权项

一种直线电机式硅片搬送机构，包括PLC和处理硅片平台（3），在处理硅片平台（3）的一侧设置有柔性皮带进料机构（1），在丝印平台（3）的另一侧设置有柔性皮带出料机构（5），在柔性皮带进料机构（1）的下方设置有输入硅片行走横梁（2），在柔性皮带出料机构（5）的下方设置有输出硅片行走横梁（4），其特征在于，在柔性皮带进料机构（1）的硅片传送平台上设置有输入吸盘让位缺口（13），在输入吸盘让位缺口（13）的两侧的柔性皮带进料机构（1）的硅片传送平台上分别设置有硅片限位块（14）和硅片位置正位调整块（15），硅片位置正位调整块（15）与正位气缸（16）的输出轴连接，正位气缸（16）与PLC电连接，设置在柔性皮带进料机构（1）的硅片传送平台下方的同步带驱动电机（10）通过同步带轮（11）驱动同步带（12）传送硅片，同步带驱动电机（10）与PLC电连接，输入硅片行走横梁（2）的底座板（17）竖立固定在机架上，在底座板（17）的前面板上分别固定设置有伺服电机（18）和凸轮轴（20），在凸轮轴（20）的两端分别设置有一凸轮（21），与PLC电连接的伺服电机（18）通过驱动同步带（19）驱动两凸轮转动，在底座板（17）的后面板上固定设置有滑块（26），在升降板（24）上固定设置有升降导轨（25），升降导轨（25）与滑块（26）活动连接在一起，在升降板（24）的底端两侧分别固定设置有两块L形连接块（23），在L形连接块（23）的尾端均设置有滚轮（22），滚轮（22）与凸轮（21）滚动连接，在升降板（24）上端面上固定设置有直线电机定子（27），直线电机动子（28）可沿直线电机定子（27）在左右水平方向上移动，在直线电机动子（28）上端固定设置有传送硅片的负压吸盘（6），传送硅片的负压吸盘（6）设置在输入吸盘让位缺口（13）中，在直线电机动子（28）侧面固定设置有拖链连接板（7），在拖链连接板（7）与输入硅片行走横梁（2）的底座板（17）之间设置有拖链（8）。