发明名称 展示减少的分层的基于碳的存储器元件和形成其的方法
摘要 提供一种形成可逆电阻-切换金属-绝缘体-金属(″MIM″)堆栈的方法,该方法包括:形成包括退化掺杂的半导体材料的第一导电层;以及在所述第一导电层之上形成基于碳的可逆电阻-切换材料。还提供其他方面。
申请公布号 CN102265400A 申请公布日期 2011.11.30
申请号 CN200980152209.7 申请日期 2009.10.22
申请人 桑迪士克3D有限责任公司 发明人 许汇文
分类号 H01L27/24(2006.01)I;H01L45/00(2006.01)I;H01L51/00(2006.01)I 主分类号 H01L27/24(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 黄小临
主权项 一种形成可逆电阻‑切换金属‑绝缘体‑金属(″MIM″)堆栈的方法,该方法包括:形成包括退化掺杂的半导体材料的第一导电层;以及在所述第一导电层之上形成基于碳的可逆电阻‑切换材料。
地址 美国加利福尼亚州