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发明名称 PLASMA ETCHING METHOD, PLASMA ETCHING APPARATUS AND COMPUTER-READABLE STORAGE MEDIUM
摘要
申请公布号 KR101088254(B1) 申请公布日期 2011.11.30
申请号 KR20090016849 申请日期 2009.02.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/00 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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