氧化锌系透明导体、溅射靶以及该溅射靶的制造方法

摘要

本发明提供一种氧化锌系透明导体，其特征在于，以氧化锌(ZnO)为主成分，含有相对于氧化锌成为n型掺杂剂的元素，并且含有相对于所有金属原子为0.05～2.0原子％的表示与氧化锌的润湿性的参数P为6以下、电阻率小于添加了n型掺杂剂的氧化锌的电阻率的金属，其中，P＝(G+Hmix)/RT，G：温度T下金属的吉布斯自由能，Hmix：温度T下氧化锌与金属的混合焓，R：气体常数，T：温度。本发明的目的在于，在不含有昂贵且存在资源枯竭可能的原料In的透明导体的开发中，超越单掺法这种以往的开发技术的极限，给出对低电阻率化有效的第2添加材料的选择方针以及具体的材料种类和优选的浓度范围，并提供低电阻率透明导体。

主权项

一种氧化锌系透明导体，其特征在于，以氧化锌(ZnO)为主成分，含有相对于氧化锌成为n型掺杂剂的元素，并含有表示与氧化锌的润湿性的参数P在6以下、且具有比添加了n型掺杂剂的氧化锌的电阻率小的电阻率的金属M，并且相对于作为构成氧化锌系透明导体的所有金属原子的锌、n型掺杂剂和金属M的总原子数，金属M的浓度为0.05～2.0原子％，其中，P＝(ΔG0+ΔHx(M))/RT，ΔG0：金属M与氧化锌的氧化还原反应的标准自由能变，ΔHx(M)：构成氧化锌的金属元素锌溶解在金属M中的溶解热，R：气体常数，T：1800℃。