电铸喷嘴装置和溶液涂覆方法

摘要

将层液相涂布到电子器件基底上的设备和方法。包含主体和盘的电铸喷嘴以阵列排列以实施基底上的多重沉积。低固体含量的混合物形成非常薄的电子器件材料干膜。

主权项

一种喷嘴组合件，所述喷嘴组合件包括：主体，所述主体在所述主体远端包含凹槽区域；和盘，所述盘具有位于中央的孔，所述孔具有孔径dA和孔厚度tA，所述盘具有直径dD，所述盘具有第一侧面和第二侧面，其中所述第一侧面连接所述主体的凹槽区域，所述第二侧面具有位于凹槽区域内的所述孔，所述凹槽区域具有直径d2，其中dD大于d2。