同时电子检测

摘要

本发明涉及同时电子检测。本发明提供用以检测穿过样品的电子的多个检测器。所述检测器优选地在电子穿过棱镜之后检测所述电子，其中所述棱镜根据电子的能量分离电子。随后由不同检测器检测处于不同能量范围内的电子，其中优选地至少其中一个检测器测量所述电子在穿过样品时所损失的能量。本发明的一个实施例提供对于核心损失电子的EELS，而且同时提供来自低损失电子的亮视场STEM信号。

主权项

一种透射电子显微镜（300，400，500，600，700），其包括：高能电子源（302）；电子聚焦镜筒（304），其用于把来自所述高能电子源的电子聚焦成束并且将其扫描过样品；分散设备（322，412），其用于分散已穿过样品的具有不同能量的电子；第一电子检测器（334，426）；用于把电子投射到第一检测器上的电子光学元件（332，424）；以及用于检测电子的第二检测器（340，420，502，628L，702），其特征在于：       第一电子检测器通过记录多个点处的电子强度来记录图像或光谱；       随着所述电子聚焦镜筒将所述高能电子束扫描过样品，第二检测器快速记录区域上的电子强度改变；       第二检测器被定位在能量分散平面内或者基本上与所述能量分散平面靠近；以及       第二检测器不会阻挡电子进入第一检测器。