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发明名称
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition apparatus for flat panel display device
摘要
申请公布号
KR101087624(B1)
申请公布日期
2011.11.30
申请号
KR20040112669
申请日期
2004.12.27
申请人
发明人
分类号
H01J9/20;H01J11/20
主分类号
H01J9/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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