发明名称 Vorrichtung zur Verhinderung des Memory-Effekts bei Kryopumpen.
摘要 Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (21) zur Vermeidung des Memory-Effekts bei Kryopumpen mit einer ersten Kühlstufe (23) und einer zweiten Kühlstufe (25), welche in axialer Richtung an die erste Kühlstufe (23) anschliesst. Eine zylinderförmige Abschirmung (31) hat eine Öffnung (37) und einen Boden (35), welcher Boden (35) von dem zweistufigen Kühlkopf (21) mittig derartig durchdrungen ist, dass die erste Kühlstufe (23) ausserhalb der Abschirmung (31) und die zweite Kühlstufe (25) innerhalb der Abschirmung (31) angeordnet sind. Zwischen der Abschirmung (31) und der ersten Kühlstufe (23) ist ein Zwischenraum (34) gebildet, und der Boden der Abschirmung (31) ist mit der ersten Kühlstufe (23) mittels einer Wärmebrücke (33) wärmeleitend verbunden. Ein als Pumpfläche dienendes Kühlpaneel (43) ist mit der zweiten Kühlstufe (25) verbunden und innerhalb der Abschirmung (31) vorgesehen. Ein Baffle (39) ist im Bereich der Öffnung (37) der zylinderförmigen Abschirmung (31) angeordnet und steht in wärmeleitendem Kontakt mit der Abschirmung (31) und/oder der ersten Kühlstufe (23). Die Wärmebrücke (33) ist zwischen der Abschirmung (31) und der ersten Kühlstufe (23) in Abstand von deren Stirnseite vorgesehen. Die Erfindung betrifft auch ein Gehäuse (12), das den Kühlkopf (21) umschliesst, und eine Kryopumpe (11), in der der Kühlkopf (21) aufgenommen ist.
申请公布号 CH703216(A1) 申请公布日期 2011.11.30
申请号 CH20100000833 申请日期 2010.05.27
申请人 HSR AG 发明人 MARCEL KOHLER;HERBERT VOGT;URS FRICK
分类号 F04B37/08 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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